Чтобы установить историческую последовательность возникновения института ответственности в национальном праве, необходимо рассмотреть, как развивались различные виды ответственности на протяжении времени. Давайте проанализируем каждый из предложенных пунктов:

1. Ответственность физического лица - это один из самых ранних видов ответственности, который возник с появлением права. Ответственность физических лиц основывается на личной вине и действиях конкретного человека. Она была присуща уже в древних правовых системах, таких как кодекс Хаммурапи.
2. Ответственность должностных лиц государства - этот вид ответственности начал формироваться с развитием государственных институтов и должностных обязанностей. С возникновением бюрократических структур и государственных служб стало необходимо устанавливать ответственность тех, кто занимает государственные должности, за свои действия и решения.
3. Ответственность государства - этот институт появился позже, когда государства стали признавать свою ответственность за действия, которые могут причинить вред другим государствам или их гражданам. Это связано с развитием международного права и концепцией суверенитета. Ответственность государства начала формироваться в XIX-XX веках.
4. Ответственность корпораций - этот вид ответственности стал актуален с развитием корпоративного права и увеличением влияния компаний на экономику и общество. Корпорации могут нести ответственность за свои действия, например, в случае нарушения экологических норм или прав потребителей. Этот институт стал развиваться в конце XX - начале XXI века.

Таким образом, историческая последовательность возникновения института ответственности в национальном праве выглядит следующим образом:

1. Ответственность физического лица
2. Ответственность должностных лиц государства
3. Ответственность государства
4. Ответственность корпораций

Эта последовательность показывает, как с развитием общества и правовых систем возникали новые формы ответственности, отражающие изменяющиеся реалии и потребности правопорядка.